应用领域

行业痛点

晶圆制造过程中痕量杂质气体影响产品良率，需要ppb级精度的实时监测能力。

微谱解决方案

微谱RGA残余气体分析仪提供10⁻¹² mbar检测下限，支持多点位在线监测，帮助客户快速定位污染源，提升制程稳定性。

典型应用案例

• •某头部晶圆厂采用微谱RGA系统后，缺陷率降低30%
• •真空镀膜工艺气体纯度实时监控方案

行业痛点

锂电池生产过程中电解液挥发气体、SEI膜形成过程需要精确监控以确保电池安全性与一致性。

微谱解决方案

微谱PMS过程监测质谱系统实现毫秒级响应，实时追踪关键气体组分变化，为工艺优化提供数据支撑。

典型应用案例

• •动力电池产线气体排放监控系统
• •固态电池研发过程气氛分析方案

行业痛点

化学反应过程中中间产物和副产物气体成分复杂，传统离线分析无法满足实时调控需求。

微谱解决方案

微谱定制化PMS系统集成耐高温采样探头，支持50°C高温环境下的连续在线分析，助力反应条件优化。

典型应用案例

• •石油化工裂解过程气体组分监测
• •精细化工合成反应尾气分析系统

行业痛点

催化剂活性评估需要精确测量反应前后气体组成变化，传统方法耗时长且精度有限。

微谱解决方案

微谱高分辨率质谱仪提供amu级别的质量分辨能力，准确识别同位素标记分子，加速催化剂筛选与机理研究。

典型应用案例

• •汽车尾气催化转化器性能测试平台
• •光催化水分解产氢效率监测系统

行业痛点

高真空系统泄漏检测困难，微量气体渗透影响设备性能和产品质量。

微谱解决方案

微谱RGA系统具备超高灵敏度，可检测10⁻¹² mbar级别的泄漏，配合智能诊断算法快速定位泄漏点。

典型应用案例

• •半导体设备真空腔体检漏方案
• •航天器模拟舱真空度监测系统

行业痛点

前沿科学研究对仪器精度、灵活性和可扩展性提出极高要求，通用设备难以满足特殊实验需求。

微谱解决方案

微谱提供开放式软件接口和模块化硬件设计，支持客户自定义数据采集与分析流程，适配各类科研场景。

典型应用案例

• •表面科学吸附脱附动力学研究
• •等离子体物理放电特性分析系统