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专注于工业质谱仪器的研发与制造，提供从残余气体分析到过程监测的全链条解决方案
残余气体分析仪 RGA
微谱科技自主研发的残余气体分析仪（RGA），检测下限可达10⁻¹² mbar，满足先进制程对痕量杂质监测的严苛要求。
技术参数
工作气压
<2 Pa
质量范围
1-300 amu
分析速度
> 1ms
分辨率
＜1amu @10%峰高
典型应用
半导体晶圆制造真空镀膜科研实验
过程监测质谱 PMS
我们的过程监测质谱（PMS）系统支持实时在线分析，常压进样，质量范围可定制，助力客户优化工艺参数，提升良率。
技术参数
交互方式
内置平板电脑
质量范围
1-300 amu
采样方式
毛细管/膜进样（可选）
真空泵配置
前级泵+分子泵（全部内置）
典型应用
化工反应监控新能源电池生产催化研究
定制化解决方案
针对特殊应用场景，提供关键部件和整机的定制服务，从需求分析到方案设计再到生产制造，全程专业技术支持。
技术参数
定制范围
软件/电路/模块/整机
交付周期
根据需求评估
技术支持
全程专属团队
售后服务
终身维护保障
典型应用
特殊行业应用科研项目合作产线集成方案